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the apparatus required is less complex
SEMI S14-1103 (technical revision)
本文書の目的は， テスト装置から歩留り管理システムに，特定のデータを渡すためのフォーマットの標準化である。歩留り管理システムは，データサーバの一種であり，ベアウェーハやパターン付きウェーハの欠陥データを管理するシステムである。
Observed defects on monocrystalline SiC substrates
SEMI M62-1107 (technical revision)
S01700 - SEMI S17 - 無人搬送台車（UTV）システムの安全ガイドライン Revision:SEMI S17-0311 - Superseded the apparatus required is lessNOTICE: This translation is a REFERENCE COPY ONLY. If differences should exist between the English version and a translation in any other language, the English version is the official and authoritative version. SEMI SEMI UTVUTVFPDUTVFTVfloor traveling vehicleOTVoverhead traveling vehicle FPDUTVUTV UTVUTVFTVAGV: automated guided vehicleRGV: rail guided vehicleOTVOHS: overhead shuttleOHT: overhead hoist transport UTVUTV OHTOHSUTV, Referenced SEMI
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